等离子体表面处理工艺具有哪些不可替代的特点?
文章导读:等离子体材料处理技术在能源、信息、环境、生化等多个行业中起着极其关键的作用,同其他与之竞争的加工方法相比,等离子体加工更便宜、更有效,它可以完成其他方法不能完成的任务,在处理时,它能够不产生附产品和废料,在产生很少污染和有毒废料的情况下实现相同的目的。这些都时等离子体表面处理工艺的不可替代性特点。
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在等离子体环境下,人们可以制造出其他商业手段不可能实现的材料表面结构与表面特性。在硅基片上,人们可以刻蚀除45nm宽,几微米深的深沟来构造集成电路。打个比方,头发丝的直径是50-100um,45nm宽相当于可以在头发丝的顶端刻出上千个这个的深沟。
利用等离子体技术,人们还可以制作出金刚石薄膜、在太阳能电池中使用的非晶硅、纳米晶氧化钛以及各种纳米管线薄膜材料等等具有独特性质的材料。利用等离子表面强化技术可使医用人工关节和各种加工器具的使用寿命提高几倍。
等离子体可以改变纺织纤维的表面亲水性能,等离子体杀菌、等离子体降解废水、废气等等。
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